青鸟元芯压力传感器…其他证书

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专利证书

1	低功耗化学传感器芯片及其制作方法 ZL03104786.6
2	微型电阻型湿度传感器的制备方法 ZL03104787.4
3	一种低功耗化学传感器芯片、传感器及其制备方法 ZL03104788.2
4	用于MEMS键合工艺的低温熔化玻璃键合方法 ZL200510011437.6
5	热扩散压阻式MEMS压力传感器芯片级老化方法 ZL200510011463.9
6	复合金属氧化物半导体材料及其制备方法 ZL200510011465.8
7	用半导体工艺制作平面式气体传感器基底的方法 ZL2005 1 0055225.8
8	平面式气体传感器衬底上敏感料的涂覆方法 ZL2005 1 0011464.3
9	TO式压力传感器检测辅助装置 ZL2005 2 0008539.8

新型MEMS湿度传感器创新基金验收通过证书

新型MEMS湿度传感器国家重点新产品证书

2004年北京市首批百家专利试点企业证书

北京市半导体行业协会会员

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